FCV

对于介电层比如门极氧化层的电学参数测试,以及大部分近表面注入层比如源极和漏极的电学参数测试,FCV都是一种快速有效的测试手法。该系统在一个很宽的注入剂量范围内都有极好的灵敏度。

FCV系统通过一个很小的弹性探针在介电层表面形成临时的门极。

有两种弹性材料探针被使用。A型探针用于所有的CVGV测试,且A型探针表面自包含有介电层用来阻挡直接的隧穿电流,同时对于低至6埃的氧化硅层允许进行含有漏电的CV测试。对于IV测试,使用的是C型探针。这种探针使用一种特制的不易被氧化的金属,就算被氧化,它也是导电的,而不是绝缘的。弹性探针的直径小于30微米,不会损伤介电层表面。

特征:

非侵入式的弹性探针提供外延层的快速测试;

对于有金属电极带图形的晶圆使用硬探针;

经过特别设计的弹性材料探针能够确保对晶圆无损伤;

弹性材料探针不会损伤也不会沾污晶圆表面;

产品的特定测试区可进行测试;

能够得到CV分析图谱,频率可从1KHz10MHz

表面掺杂浓度测试;

还能够对门极介电层特性和离子注入工艺进行监控(10-250埃硅氧化层或高K介电层);

IV测试可低至1fA

可自动传送300mm晶圆;

OHT





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