ACV

空气层CVACV)测试技术是一种非接触式的,用于测量外延层和/或衬底电阻率的设备。相较于传统的破坏性监控手法,这种非破坏性测试能够极大地降低测试成本。


ACV在概念上与传统的汞探针或者肖特基CV测试技术类似,通过在测试片表面施加不同的电压得到不同深度的耗尽层并测出对应的耗尽层电容。通过空气轴承技术使得探头能够非常接近晶片表面但不接触。这种非破坏和非沾污型测试手法能够直接测试产品片本身并能够提供稳定的测试性能。

一款集成的表面处理系统(PTC)被用于外延工艺后对测试片进行表面处理,通过形成一层均匀的,良好电学特性的自然氧化层来达到稳定测试片表面状况的目的。



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