QC

交流电SPC分析

交流电SPV(ac-SPV)是一种快速电光法,对裸半导体表面或者有几微米厚的绝缘体是无损坏测试电性能。这种方法可以同时测量像表面少子寿命,表面导电类型,表面掺杂浓度以及电阻率等关键参数。

工作原理

交流电SPV方法是基于测量初始表面势垒高度的改变,(正弦曲线)光照入射在样品表面(交流-表面光电压测量)。表面势垒是由于在样品中存在界面态(表面)电荷和介质膜(氧化层电荷)而形成的。使用的光子能量要比半导体禁带宽度要大,并且半导体表面是处于带叠加电场的耗尽或者反型状态。经电容耦合可以检测到感应交流SPV信号,并且与耗尽层宽度成比例。它也可以用于计算由耗尽层宽度决定表面区域其它重要电学参数。

QC SPV测量方法


QC头结构与探针控制模组

·       PCM组是非常紧密的,它包含LED激发光源,数据采集,信号处理以及马达控制。

·       mapping测试过程中样品是连续移动的。SPV信号是被连续监测的,并且探针在TCO提取传感器电极和样品表面之间同步电容反馈测量帮助下精确地保持在离表面200mm处。

·       新设计的QC传感器包含一个中心带小孔的支撑圆盘,一个涂敷TCO材料相同直径的石英汽缸。轴对称可以提高连续移动测量性能。

·       这种设计使快速mapping测量成为可能。





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