产品描述

ECV-3000全自动弹性探针系统是带扫描测试功能的高频电容-电压测试分析系统，它兼容3寸， 4寸， 5寸， 6寸， 8寸和12寸硅片。与传统的汞探针系统采用汞接触方式测试不同，ECV采用硬度比硅更小的记忆合金作为探针，当探针与样品表面接触时变形的是探针而非样品，避免了传统测试的玷污和破坏样品。同时ECV的测试原理与汞CV相同，也保证了测试结果与传统测试结果的一致性。

 

ECV有两种测量模式：肖特基和MOS。肖特基测量模式是测量硅外延层载流子浓度的有效方法，其重复性小于1%（1σ）。该模式也是测量复合半导体材料（如：SiC, GaN, InP, GaP）载流子浓度的有效手段。MOS模式采用包裹着氧化层的弹性金属探针来形成MOS电容结构，节省了制作MOS样品的复杂流程，所以能够快速监控介电常数、离子注入参数、氧化层电荷、载流子产生寿命和氧化层的可靠性。

产品特点

样品正面向上，非沾污非损伤测试

记忆合金作为接触电极，硬度小于硅

接触面积达到微米级别，小于传统测试，可直接测试带图形产品

工业化设计，符合SEMI各项标准

应用面广，适合半导体、液晶等不同行业

与传统汞CV相同原理，测试结果一致性好

主要应用

硅及化合物半导体外延电阻率监控

CVD工艺监控

扩散工艺监控

主要技术指标

电阻率测试范围：0.2 to 330 Ohm-cm (p), 0.1 to 100 Ohm-cm (n)

去边尺寸：    1 mm

测试点精准度：    ±100 μm

重复性：  <1%