ACV-3000 外延电阻率测试仪
(Air gap Capacitance-Voltage Epi Measurement System)

产品描述

ACV-3000的测量技术与传统的外延层测试技术(如汞探针或者肖特基CV)类似,通过施加不同的电压来产生不同深度的耗尽层,同时测量对应深度耗尽层的电容来得到电容电压曲线。区别于传统测试技术的是,ACV的探头不接触样品表面,而是通过空气轴承的技术来保证探头与样品表面保持一定的距离(通常只有几个微米)。存在的空气电容能够被精确测量,从而在后期的数学模型中能够准确计算出电阻率(或载流子浓度)随深度的变化曲线。



ACV-3000是一种应用于外延层电阻率(或载流子浓度)的测试系统,能够提供实时的、非接触的测量。它在不接触样品的情况下能够准确的描绘出电阻率随深度的变化曲线,测试结束的样品没有受到破坏和污染,能够和正常产品一样出货。一般的多点均匀性测量耗时也仅需数分钟。随着产品尺寸和成本的上升,ACV-3000的这些特点也越来越受到客户的关注和认可。



产品特点

非接触非破坏性测量
自带样品预处理系统
可用于12英寸产品测量
机械手自动传送,定位准确无污染
系统稳定性与重复性好
操作软件简单易学,分析软件功能强大

主要应用

外延工艺监控
外延层电阻率和载流子浓度测试
外延层电阻率和载流子浓度均匀性测试
样品表面无污染预处理
其他应用

主要技术指标

外延/衬底类型:P/P+, P/P-, N/N+, N/N-, 以及部分埋层外延硅材料
短期重复性与再现性:<1% (1ohm.cm ~ 100ohm.cm) 1 sigma
长期重复性与再现性:<2% (1ohm.cm ~ 100ohm.cm) 1 sigma
剔边距离:10mm(依据SEMI M1-0302执行)
可测试产品尺寸:300mm(SEMI标准尺寸)

技术关键词

ACV CV

应用关键词

外延层监控


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