LST-300A 体微缺陷检测仪
(Light Scattering Tomograph)

产品描述

LST-300A是专门用于测量硅材料体微缺陷分布及浓度的设备。该测试方法的主要特点是快速测试,高分辨率。
采用红外激光垂直入射到靠近硅片解理面边缘,通过CCD相机沿解理面搜集体微缺陷散射的红外光,生成图片,通过分析图片即可得到硅材料体微缺陷的信息。


产品特点

快速测试;
很高的深度分辨率;
能够探测极小尺寸的体微缺陷;
测量和分析DZ洁净区;
全自动完成半硅片传送及测试;
会对解理面自动对焦。

主要应用

测量Si,Ge等的体微缺陷;

主要技术指标

最小探测尺寸:    12nm
深度分辨率:      0.5um
环境要求:        23°C±3°C;1°C/hour 
洁净条件:        1000级

技术关键词

应用关键词



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