产品应用
LST-300A 体微缺陷检测仪
(Light Scattering Tomograph)
产品描述
| LST-300A是专门用于测量硅材料体微缺陷分布及浓度的设备。该测试方法的主要特点是快速测试，高分辨率。 |
| 采用红外激光垂直入射到靠近硅片解理面边缘，通过CCD相机沿解理面搜集体微缺陷散射的红外光，生成图片，通过分析图片即可得到硅材料体微缺陷的信息。 |
产品特点
| 快速测试； |
| 很高的深度分辨率； |
| 能够探测极小尺寸的体微缺陷； |
| 测量和分析DZ洁净区； |
| 全自动完成半硅片传送及测试； |
| 会对解理面自动对焦。 |
主要应用
| 测量Si，Ge等的体微缺陷； |
主要技术指标
| 最小探测尺寸： 12nm |
| 深度分辨率： 0.5um |
| 环境要求： 23°C±3°C；1°C/hour |
| 洁净条件： 1000级 |
技术关键词
应用关键词
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