产品应用
WT-3000 多功能扫描测试系统
(WT-3000 Multifunction Wafer Mapping Tool)
产品描述
| WT-3000- 功能强大的半导体综合扫描测试平台，并可根据客户要求选配不同的测试模式及加配不同的预处理系统。 |
| WT-3000平台装配双FOUP，支持8寸和12寸的样品测试需求，并能提供Class 1微环境，兼容SECS II/GEM。 |
产品特点
| 样品预处理： |
| Hot chuck / desorber |
| 线性/针状电晕放电枪 |
| Flash灯（打断Fe-B键） |
| PTC（(Pre-Treatment Chamber）低温RTP |
| 低温RTP |
主要应用
| 微波光电导衰减法（u-PCD）测试少数载流子寿命/电晕放电-电荷钝化少子寿命测试 |
| 表面光电压法(SPV)测试扩散长度 |
| P型硅片铁沾污（Fe）测试 |
| 铜（Cu）沾污测试 |
| 电压-电量（V-Q）/氧化层、界面质量表征 |
| 可动离子(Mobile Charge）测试 |
| 结光电压（JPV）薄层电阻扫描 |
| 离子注入（Ion Implant）监控 |
主要技术指标
技术关键词
应用关键词
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