WT-2500 多功能扫描测试系统
(WT-2500 Multifunction Wafer Mapping Tool)

产品描述

WT-2500功能强大的半导体综合扫描测试平台,并可根据客户要求选配不同的测试模式及加配不同的预处理系统。
WT-2500平台装配单FOUP,支持8寸和12寸的样品测试需求,可选配Class 1微环境,兼容SECS II/GEM


产品特点

样品预处理:
Hot chuck / desorber
线性/针状电晕放电枪
Flash灯(打断Fe-B键)
PTC(Pre-Treatment Chamber低温RTP

低温RTP

主要应用

微波光电导衰减法(u-PCD)测试少数载流子寿命/电晕放电-电荷钝化少子寿命测试
表面光电压法(SPV)测试扩散长度
P型硅片铁沾污(Fe)测试
铜(Cu)沾污测试
电压-电量(V-Q)/氧化层、界面质量表征
可动离子(Mobile Charge)测试
结光电压(JPV)薄层电阻扫描
离子注入(Ion Implant)监控

主要技术指标

技术关键词

应用关键词



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