SHR-1000 方块电阻测试仪
(Sheet Resistance Tester)

产品描述

SHR-1000是一种单点、非接触方阻测试仪。它可以快速无接触地检测具有P/N或N/P结构的样品的方阻。SHR-1000可以自动测量样品的反射率,并对最后测得的方阻进行校正。因此,可以在同样的条件下检测所有的样品,从而使方阻检测更准确、更简单实用。
非接触结光电压法:测量探头中心装有LED激发光源,用来刺激带有PN结构的样品表面产生表面电势,此电势由测试点中心向四周扩散分布,测试探头装有内外两个环状电容电极,通过测量被测样品表面受激发后的表面电势得出样品的方块电阻。


产品特点

无接触、无损伤地检测发射极形成后的半成品
全自动测试及数据评估
可测试样品的任何位置
可测量单晶或多晶材料
测试结果能与传统四探针保持一致,良好的替代品
自动进行反射率校正,从而在同一条件下检测所有样品

主要应用

无接触扩散片方块电阻测试
能适应浅结的测试,不会穿透PN结
测试前无需去除磷硅玻璃

主要技术指标

测试材料:        硅、锗
样品结构:        P/N、N/P
测试点直径:      8mm
测试范围:        10Ω/sq. - 200Ω/sq
准确性:          3%
重复性:          3%

技术关键词

应用关键词



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