产品应用
SHR-1000 方块电阻测试仪
(Sheet Resistance Tester)
产品描述
| SHR-1000是一种单点、非接触方阻测试仪。它可以快速无接触地检测具有P/N或N/P结构的样品的方阻。SHR-1000可以自动测量样品的反射率，并对最后测得的方阻进行校正。因此，可以在同样的条件下检测所有的样品，从而使方阻检测更准确、更简单实用。 |
| 非接触结光电压法：测量探头中心装有LED激发光源，用来刺激带有PN结构的样品表面产生表面电势，此电势由测试点中心向四周扩散分布，测试探头装有内外两个环状电容电极，通过测量被测样品表面受激发后的表面电势得出样品的方块电阻。 |
产品特点
| 无接触、无损伤地检测发射极形成后的半成品 |
| 全自动测试及数据评估 |
| 可测试样品的任何位置 |
| 可测量单晶或多晶材料 |
| 测试结果能与传统四探针保持一致，良好的替代品 |
| 自动进行反射率校正，从而在同一条件下检测所有样品 |
主要应用
| 无接触扩散片方块电阻测试 |
| 能适应浅结的测试，不会穿透PN结 |
| 测试前无需去除磷硅玻璃 |
主要技术指标
| 测试材料： 硅、锗 |
| 样品结构： P/N、N/P |
| 测试点直径： 8mm |
| 测试范围： 10Ω/sq. -
200Ω/sq |
| 准确性： 3% |
| 重复性： 3% |
技术关键词
应用关键词
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