RT-1000 电阻率测试仪
(Resistivity Tester)

产品描述

RT-1000是一种电阻率测试系统,该系统由计算机控制、带有触摸屏的微工作台,基于涡流法可用于快速测量样品的电阻率,测试范围广。测试范围内的准确性为±5%。可选配基于表面光电压法的PN型测试功能。


涡流法:交变电磁场会在邻近的导体中产生环形电流(涡流)。导体的导电性能对涡流具有直接的影响:导电性越好,涡流越大。因此测量交变电磁场与邻近导体相互作用,就可以测得样品的导电性能。该方法具有非接触、无损、测量速度快等优点。
表面光电压法:通常情况下,无论何种型号的半导体,表面都被自然氧化层覆盖,其表面处于耗尽状态。因此半导体材料的表面势垒的极性也表征了材料类型。表面势垒的极性可以通过一种非接触式表面光电压的测量方法测得。PN型号是由光照射产生的表面势垒的变化的极性推得的。

产品特点

快速、无接触、无损伤
可用来分类测试锅底料、锭、棒、片等
电阻率超限声音报警功能
无需样品预处理 
全自动测试及数据评估

主要应用

检测硅锭、棒、回炉料的体电阻率
体电阻率测试

主要技术指标

电阻率:          0.5~20 ohm.cm (可选配0.001~0.5 ohm.cm)
测试时间:        1s/数据点
测试点直径:      15mm
电阻率测试准确性: 电阻笔测试范围内好于5%
电阻率重复性:     3%(<2 ohm.cm), 5% (≥2 ohm.cm)

技术关键词

应用关键词



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