PT-5 薄膜太阳能电池测试平台
(Panel Tester Gen5)

产品描述

PT-5薄膜太阳能电池测试平台基于椭圆偏振测试技术,并结合Semilab多种非接触式电学测试技术,实现了对薄膜电池光学和电学特性的综合监控测试,支持大尺寸高速在线测量。
PT-5测试平台是Semilab针对薄膜太阳能电池行业推出的多功能高速在线测试平台,可选配高精度叠层结构椭偏测试技术或是快速单层膜反射干涉测试技术做为膜厚监控模组。对于TCO材料,PT-5可拓展涡电流法非接触式方块电阻测试模组、雾度测试模组和透射率测试模组。对于a-Si、u-Si、CIGS和CdTe半导体材料,PT-5可拓展四探针接触式方块电阻测试模组、Raman结晶率和组份测试模组。


产品特点

业界第一家光谱型椭偏仪测试设备厂商
业界标准测试机构定标设备,参与发布中华人民共和国椭圆偏振测试技术标准
模块化设计,可综合监控薄膜电池的光学和电学特性
兼容用户皮带、滚轮或机械手上片系统,实现在线测试
最大可测量1.1x1.4m的样品
配置实时对焦传感器,实现高速测量
定期免费升级SOPRA材料数据库
开放光学模型拟合分析过程,方便用户优化测试菜单

主要应用

薄膜太阳能电池PECVD、LPCVD工艺监控
单结、双结或三结电池叠层结构的厚度和折射率测试
TCO厚度、折射率、方块电阻、透射率和雾度测试
a-Si、u-Si、CIGS和CdTe半导体材料的厚度、折射率、方块电阻、结晶率和组份测试

主要技术指标

测试速度:1 sec/point
最大样品尺寸: 1.1*1.4m
厚度测量范围:0.01nm-50um
厚度测试精度:0.02nm @120nm SiO2 on Si
折射率测试精度:0.002 @120nm SiO2 on Si
方块电阻测试精度:1σ < 1%
雾度测量精度:1σ < 1%
透射率测量精度:1σ < 3%
拉曼测试精度:1σ < 3%

技术关键词

应用关键词



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