PS 孔隙率测试仪
(Ellipsometer Porosimeters)

产品描述

PS孔隙率测试系统基于椭圆偏振测试技术,通过高真空系统定量控制已知分子量的溶剂吸附于孔隙薄膜的孔隙内,使薄膜材料中的孔隙逐步由空气变为已知溶剂,从而改变薄膜的折射率和厚度。此时,利用椭偏技术监控各吸附阶段的折射率和膜厚变化,计算出薄膜的孔隙大小、孔径分布、孔隙率和杨氏模量参数。


产品特点

IMEC独家专利授权技术,结合Sopra椭偏技术,使Semilab成为全球唯一提供非接触、无损、精确、稳定的孔隙测试技术供应商
32nm以下先进半导体制程Low K材料厚度、折射率、孔隙率、孔隙大小和杨氏模量综合测试系统
自动扫描带图形半导体样品
可测薄至50nm的孔隙薄膜材料
针对不同孔径的孔隙材料提供五种极性或非极性测试溶剂
预热脱附技术,使测试溶剂在测试结束后完全脱附出孔隙薄膜,实现无损测量
高真空系统精确控制溶剂吸附量,并可测试闭孔材料的孔隙密闭性、开孔材料的溶剂吸附扩散系数以及孔隙材料的化学特性
选配真空加热系统,监控薄膜材料热膨胀系数和折射率热稳定性,有效识别可能导致薄膜破裂的工艺问题

主要应用

Low K材料
溶胶凝胶材料
SiO2,TiO2,WO3,Al2O3氧化物材料
燃料电池
染剂敏感太阳能电池

主要技术指标

孔隙直径测试范围:0.5nm-70nm
孔隙薄膜厚度范围:50nm-5um
孔隙率测试精度:±1% 3σ
孔隙直径测试精度:±0.4nm 3σ @2nm
厚度测试精度:0.02nm @120nm SiO2 on Si
折射率测试精度:0.002 @120nm SiO2 on Si
可测样品尺寸:2mm-300mm
测试时间:20min-60min
测试溶剂:水,甲醇,甲苯,乙醇,异丙醇

技术关键词

应用关键词



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