LE-103PV 激光型椭偏仪
(Laser Ellipsometer)

产品描述

LE-103PV激光型椭偏仪基于椭圆偏振测试技术,通过测试线偏振光经过样品反射后偏振态振幅和相位的改变,建立样品相应光学模型,计算出薄膜的厚度、折射率和消光系数。


LE-103PV是Semilab针对光伏市场推出的一款低成本、高集成度的革新型产品,主要应用于测试具有绒面结构的晶体硅减反射膜的厚度和光学特性。测试软件操作简单、界面友好、所使用的光学模型与Semilab全光谱椭偏仪丰富的数据库相兼容,方便用户根据实际测试需求建立专业的测试菜单。

产品特点

可测量减反射膜厚度、折射率和消光系数等光学特性
稳定、可自动校准的集成光路
优化设计的156mm多晶和单晶测试平台,方便用户转换单晶和多晶测量
自动变换入射角的设计提高了测试精度,并可实现表面特征雾度(Haze)的测试
采用旋转补偿器测量Psi(0~90°)和Delta(0~360°),可提供更高的测量灵敏度,同时可计算由粗糙表面引起的退偏系数
聚焦微光斑系统优化了反射信号的采集
可集成到在线测量系统,实现快速的在线监控
测试软件兼容PVECS

主要应用

太阳能电池片减反射膜的厚度、折射率和消光系数测试
二氧化硅等介质膜的厚度、折射率和消光系数测试
透明材料的光度学测试

主要技术指标

激光波长:        632.8nm He-Ne激光器
测量时间:        100ms-2sec
膜厚测量范围:    2nm-6000nm(基于SiO2)
厚度测试精度:   0.01nm @120nm SiO2 on Si
折射率测试精度:0.0005 @120nm SiO2 on Si

技术关键词

应用关键词



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