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光刻部门（PHOTO）是半导体制程的核心部门，涉及到电路、器件等图形制造。Semilab对于光刻部门的主要测试方案为：
1. 全光谱椭偏仪（Spectroscopic Ellipsometry）对光刻胶薄膜厚度、折射率及消光系数的测试
2. 光谱反射仪（SR）对光刻胶薄膜的厚度测试
3. 图像光谱反射仪（i-SR）对半曝光沟道残余光刻胶的测试
4. CF部门RGB透过率及雾度（Haze）的测试
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