详细信息|相关产品PHOTO

光刻部门(PHOTO)是半导体制程的核心部门,涉及到电路、器件等图形制造。Semilab对于光刻部门的主要测试方案为:

1. 全光谱椭偏仪(Spectroscopic Ellipsometry)对光刻胶薄膜厚度、折射率及消光系数的测试

2. 光谱反射仪(SR)对光刻胶薄膜的厚度测试

3. 图像光谱反射仪(i-SR)对半曝光沟道残余光刻胶的测试

4. CF部门RGB透过率及雾度(Haze)的测试



©2009,Semilab.All rights reserved|沪公网安备 31011502002770号 | 沪ICP备12039253号