WA-200 硅片自动测试系统包括:桌面式的皮带传动系统,“On-The-Fly”测试模组,数据处理系统。能够提供低成本的硅片自动测试,可实现自动1-3线或手动1-5点的测试,具有重复性好,精度好等特点,其测试模组也可集成到全自动分选机上,避免重复投资。
可选配测试模组:
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