RT-110 硅片电阻率测试仪
RT-110 硅片电阻率测试仪
RT系列电阻率测试仪基于涡流（Eddy Current）测试技术，能够对硅料、硅棒、硅锭、及硅片进行无接触、无损伤的体电阻率测试。
主要特点：
- 无接触测试硅片体电阻率 - 涡流法（Eddy Current）
- 无接触测试硅片厚度 - 电容法（Capacitance Method）
- 无接触硅片PN型号测试 - 表面光电压法（SPV）
- 硅片电阻率测试范围： 0.01-100 ohm.cm（分段测试）
- 厚度测试范围：150 - 1000 um
- 测试速度： 1s/点
- 可选加无接触回炉料，硅锭（棒）体电阻探头测试功能
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