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GES5-E 光谱型椭偏仪

GES5-E 光谱型椭偏仪

SOPRALAB光谱型椭偏仪基于偏振光学技术,可在紫外-可见光-红外波段对晶体硅太阳能电池和薄膜电池的厚度、光学性质和电学性质进行可变角椭偏测量。

  • 可自由选配快速CCD或高分辨率扫描模式测量
  • 可自由选配深紫外,紫外-可见光,红外光谱测量
  • 可选配X-Y-Z、ρ-θ扫描样品台,温控台,真空台
  • 配置0.01度自动连续变角器
  • 厚度测量范围:0.01nm-50um
  • 测量精度:±0.01nm@120nm ref. sample
  • 测量光谱分辨率:<0.5nm@633nm(高分辨率扫描模式)
                                     <0.8nm@633nm (快速CCD模式)

 

  • 可自由选配快速CCD或高分辨率扫描模式测量
    可自由选配深紫外,紫外-可见光,红外光谱测量
    可选配X-Y-Z、ρ-θ扫描样品台,温控台,真空台
    配置0.01度自动连续变角器
    厚度测量范围:0.01nm-50um
    测量精度:±0.01nm@120nm ref. sample
    测量光谱分辨率:<0.5nm@633nm(高分辨率扫描模式)
                      <0.8nm@633nm (快速CCD模式)

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