GES5-E 光谱型椭偏仪
SOPRALAB光谱型椭偏仪基于偏振光学技术,可在紫外-可见光-红外波段对晶体硅太阳能电池和薄膜电池的厚度、光学性质和电学性质进行可变角椭偏测量。
- 可自由选配快速CCD或高分辨率扫描模式测量
- 可自由选配深紫外,紫外-可见光,红外光谱测量
- 可选配X-Y-Z、ρ-θ扫描样品台,温控台,真空台
- 配置0.01度自动连续变角器
- 厚度测量范围:0.01nm-50um
- 测量精度:±0.01nm@120nm ref. sample
- 测量光谱分辨率:<0.5nm@633nm(高分辨率扫描模式)
<0.8nm@633nm (快速CCD模式)
-
可自由选配快速CCD或高分辨率扫描模式测量可自由选配深紫外,紫外-可见光,红外光谱测量可选配X-Y-Z、ρ-θ扫描样品台,温控台,真空台配置0.01度自动连续变角器厚度测量范围:0.01nm-50um测量精度:±0.01nm@120nm ref. sample测量光谱分辨率:<0.5nm@633nm(高分辨率扫描模式)<0.8nm@633nm (快速CCD模式)