WT-2000PVN 硅片载流子寿命测试系统
WT-2000PVN 硅片载流子寿命测试系统
SEMILAB WT-2000PVN 测试平台能够对单晶、多晶以及薄膜电池提供快速、无接触、无损伤、高分辨率的多功能扫描、多点或单点测试。测试样品包括：硅棒、硅块、任何形状的硅片及电池。
选配测试功能：
- 微波光电导衰减法（u-pcd）测试少子寿命
- 表面光电压法（Eddy Current）测试体电阻率
- 表面光电压法（SPV）测试方块电阻
- 多波长光诱导电流（LBIC）测试
- 多波长光反射率（Reflectance）测试
- 多波长内（外）量子效率（IQE/EQE）测试
- P型片铁含量（Fe-B）测试
- 可调光强的偏置光（Bias Light）选项
主要特点：
- 独特的u-pcd探头有效的提高信噪比，能适应低电阻率材料的测试
- 可调的微波频率以获得最优化信号，可以满足晶锭的测试需要
- 获得专利的表面钝化技术可以降低表面复合速率，已获得体寿命值
- 多功能扫描，一台设备可以既测定晶片，也可以测试晶锭
- 精度高，重复性好，为业界公认的测试标准
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