SRP-PV1 结深纵向浓度测试仪
SRP-PV1扩展电阻测试系统，采用对扩展电阻纵向分布测试，通过对比得出电阻率（载流子浓度）随深度分布的完整信息，从而对扩散工艺进行监控。
- 适应于抛光片、制绒片，以及有发射极表面的样片
- 测试结果提供完整的扩散-深度信息
- 快速、精确、操作简捷
- 纵向浓度的分辨率可达：1nm
- 电阻率测试的分辨率高
- 全自动校准及数据处理
- 经典技术，行业的标准测试手段
SRP-PV1扩展电阻测试系统，采用对扩展电阻纵向分布测试，通过对比得出电阻率（载流子浓度）随深度分布的完整信息，从而对扩散工艺进行监控。
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