SOPRALAB 全自动光谱型椭偏仪基于偏振光学技术,配合自动上片系统,可在紫外-可见光-红外波段对1245mm×635mm大尺寸薄膜电池的厚度、组份、光学性质和电学性质实现在线椭偏测量。
- 测试光斑最小至50um
- 支持表面自动测绘
- 测 试 速 度:≤ 1 sec
- 测 试 光 谱:190 nm - 2.5um
- 厚度测试范围:0.01nm - 50 um
- 测 试 精 度:±0.01nm @ 120 nm
- 光 谱 分辨率:
- 0.5nm @ 633 nm (高分辨率模式)
- < 0.8nm @ 633 nm (快速CCD模式)