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SE5-PV 全自动光谱型椭偏仪

SE5-PV 全自动光谱型椭偏仪

SOPRALAB 全自动光谱型椭偏仪基于偏振光学技术,配合自动上片系统,可在紫外-可见光-红外波段对1245mm×635mm大尺寸薄膜电池的厚度、组份、光学性质和电学性质实现在线椭偏测量。

  • 测试光斑最小至50um
  • 支持表面自动测绘
  • 测 试  速  度:≤ 1 sec
  • 测 试  光  谱:190 nm - 2.5um
  • 厚度测试范围:0.01nm - 50 um
  • 测  试  精  度:±0.01nm @ 120 nm
  • 光 谱 分辨率: 

                          - 0.5nm @ 633 nm (高分辨率模式) 

                          - <  0.8nm @ 633 nm (快速CCD模式) 

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